真空檢漏方法有如下幾種：
1、氦質譜檢漏
該技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中得到了廣泛應用。
2、真空封泥檢測法
將真空泥逐個封住可疑漏點，注意觀察真空度的變化，假如貼上真空封泥真空度提升很快，取掉有明顯下降，說明這是一個漏點。這種方法在實際應用中，采用的比較少。
3、真空計檢漏法
選用適當的氣體或液體做示漏物質，這些真空計便成了探測器，一般鍍膜機上都有真空計，使用起來很方便，也是常用到的一種檢漏方法。
4、高頻火花檢漏
這種方法僅適用于玻璃真空系統。先將系統抽成真空，高頻火花檢漏儀的火花端沿著玻璃表面移動，火花集中成束形成亮點處即是漏孔位置。
選擇檢漏方法的原則：
1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
2、根據具體被檢對象，所用方法簡便易行、經濟實用。 |