干式真空泵是指泵在正常壓力下可以啟動泵送，泵送的氣體可以直接排入大氣。機械真空泵，泵腔內無油或其他工作介質，壓力等于或接近油封真空泵。
對于普通的無油真空系統，雖然可以使用油封真空泵和附件來防止回流，但它們不能完全解決問題并使系統復雜化。使用合適類型的干式真空泵可以達到預期效果。
干式真空泵應用廣泛，主要有以下幾個方面：
1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備工藝；
2、半導體蝕刻工藝。在這些生產過程中，經常使用干式真空泵或產生腐蝕性氣體和磨料顆粒；
3、對于除半導體工藝外產生顆粒的某些工藝，預計顆粒不會混合到干式真空泵的泵油中，預計顆粒將從泵中排出。某些型號的干式機械真空泵可以滿足要求；
4、化工、制藥、食品等行業在蒸餾、干燥、脫氣和包裝過程中，應防止有機溶劑造成的污染，并應使用干式真空泵；
5、干式真空泵用作一般無油清潔真空系統的前泵，以防止油污染。 |